碳化硅陶瓷是碳化物中抗氧化性最好，但是在1100-1140°C空气气氛中氧化速率较大，具有良好的化学稳定性、高的机械强度和抗热震性。电阻率变化不大，可用作电阻发热元件材料。碳化硅陶瓷应用范围很广，可用于石油工业、化学工业、汽车、飞机、火箭、机械、矿业、造纸业、热处理、熔炼钢、核工业、微电子工业、激光等行业。用作喷嘴、轴承、密封、阀片、热交换器、热电偶套管、阀系列元件、喷砂嘴、内衬、套管、封装材料、基片、反射屏、拉丝模、成型模等。

无压烧结碳化硅，烧结温度高，在2100°C左右，惰性气氛或真空中，可以达到几乎完全致密化，材料性能表现优异；

反应烧结碳化硅烧结前后尺寸没有变化，近净尺寸成型，对于形状复杂的产品有很大优势，通常在真空下用感应加热石墨坩埚的方法完成，设备通常采用反应烧结炉；烧结体中含有8-10%游离硅，使用温度受到限制，一般在1200°C以下使用。